Автоматическая полировальная машина

Машина оснащена двумя рабочими станциями с индивидуальным управлением. Полировальная плита из нержавеющей стали имеет диаметр 300 мм; ее плоскостность составляет менее 0,25 мкм на 645,16 мм², а биение при вращении — менее 5 мкм. Скорость вращения плиты регулируется в диапазоне 1–240 об/мин с панели управления, которая также позволяет настраивать скорость перемещения ярма и продолжительность полировки. Сенсорный экран используется для задания режимов полировки. Контроллер позволяет регулировать давление и плоскостность. Автоматический питатель суспензии оснащен регулировкой скорости подачи, вмещает до 3,8 л и работает с абразивными или полировальными суспензиями с размером частиц менее 40 мкм; скорость его вращения составляет 8–20 об/мин. Держатель образца имеет диаметр 105 мм, а условное кольцо — 127,5 мм. Опциональная высокоточная полировальная оснастка рассчитана на образцы диаметром до 100 мм и толщиной до 12 мм; вертикальное перемещение держателя составляет не более 12 мм. В комплект входит цифровой микрометр с разрешением ±1 мкм. Полировальные детали и корпус выполнены из коррозионностойких материалов. Электропитание составляет 208–240 В переменного тока, частота — 50 Гц, мощность — 450 Вт.

Наименование производителя

12 Inch High Speed Automatic CMP Polishing Machine with Auto Slurry Feeder - Unipol-1203