Разборная трубчатая печь

Максимальная рабочая температура печи составляет 1200 °C; при использовании кварцевой трубы и держателя образцов ее можно повысить до 1500 °C. Длина нагревательной зоны равна 400 мм, а зоны постоянной температуры — 125 мм. Программируемый контроллер поддерживает 30 сегментов и точность ±1 °C. Питание однофазное переменного тока: 3 кВт, 220 В, допуск ±10 %, частота 50/60 Гц. Встроенная система ультразвукового туманообразования оснащена генератором частотой 1,7 МГц, размещенным в герметичном баке. Предусмотрены четыре уровня мощности для регулирования количества аэрозоля, а время его генерации регулируется в диапазоне 30–180 минут. Шприцевой насос автоматически подает жидкость; в комплект входит пластиковый шприц объемом 60 мл, диапазон скорости подачи составляет 0,004–70 мл/мин. Генератор соединяется с печью трубкой из нержавеющей стали диаметром 6,35 мм. В комплект входят кварцевая технологическая труба с фланцами, наружным диаметром 60 мм, внутренним диаметром 54 мм и длиной 1000 мм, а также кварцевый держатель для четырех подложек размером 10×10×0,5 мм, устанавливаемых под углом 45°. Для смешивания и подачи газа предусмотрена четырехканальная станция: два канала после смешивания подают газ-носитель в бак из нержавеющей стали, еще два направляют разбавляющий газ в печь. Расход регулируется в диапазоне 0–500 мл/мин, точность составляет ±0,2 % полной шкалы. На фланце технологической трубы установлен вакуумный порт KF25 с клапаном для подключения опционального вакуумного насоса. Сенсорная панель позволяет задавать программу и кривую температуры, расход газа, уровень и время генерации аэрозоля. Предусмотрены порт RS-485 и программное обеспечение для управления с ПК.

Наименование производителя

1200°C MIST CVD Furnace for Crystal Growth- OTF-1200X-Mist