Трёхзонная трубчатая печь с системой подачи источников испарения

Печь имеет разъёмную конструкцию и независимую настройку температуры каждой зоны. Система подачи перемещает один или три тигля с испаряемым материалом через рабочую трубу в вакууме либо в атмосфере с контролируемыми параметрами, доставляя их в горячую зону для испарения и осаждения. Возможны последовательная обработка до трёх тиглей или совместное испарение трёх тиглей по заданной программе. Система имеет три канала, каждый из которых оснащён отдельным входом газа и регулированием расхода. Температурный диапазон составляет 100–1100 °C в непрерывном режиме, а режим 1200 °C допускается менее одного часа; максимальная скорость нагрева не превышает 10 °C/мин. Три цифровых регулятора с 30 программируемыми сегментами управляют скоростью нагрева, охлаждения и временем выдержки; точность регулирования составляет ±1 °C. Предусмотрен коммуникационный порт. Шаговый двигатель перемещает малые кварцевые трубки вместе с термопарами для контроля температуры источников в реальном времени. Скорость и расстояние перемещения тигля задаются маховиком, ход составляет 300 мм. Размер тигля источника — 18 × 18 мм, размер перемещаемого тигля — 80 × 32 × 13 мм, размер подвижной перегородки — 20 × 20 мм, рекомендуемый размер образца — 20 × 20 мм. Корпус выполнен из двух слоёв стали и имеет воздушное охлаждение, поддерживающее температуру поверхности ниже 60 °C. Высокочистая волокнистая алюмооксидная изоляция предназначена для снижения потерь энергии. Огнеупорное покрытие футеровки и нагревательного элемента увеличивает срок службы. Разъёмная крышка с блокировкой отключает питание при открывании во время нагрева. Требуется однофазное питание 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, 10 кВт и автоматический выключатель на 70 А. В комплект входят одна труба из плавленого кварца с наружным диаметром 130 мм, внутренним диаметром 122 мм и длиной 1200 мм, а также три трубы с наружным диаметром 25 мм, внутренним диаметром 21 мм и длиной 1200 мм. Предусмотрен двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос с вакуумом 10^-2 торр, вакуумная труба из нержавеющей стали, шаровой клапан и переходник. Четырёхканальная система управления газом с сенсорным экраном программируемого логического контроллера и три мобильные тележки входят в комплект. Габариты печи составляют 4000 × 600 × 1500 мм.

Наименование производителя

1200C Three Zone HPCVD 5"D Tube Furnace with Sequential & Co-Deposition Source Feeding System - OTF-1200X-III-HPCVD-S3