Артикул: 513-335
Модель: ХМА-75(4У)
Секция: Дополнительная
Плазменный очиститель объёмом 3 л
Кварцевая плазменная камера имеет диаметр 152,4 мм и длину 165,1 мм; дверца на петлях оснащена смотровым окном для загрузки образцов и наблюдения за процессом. Обрабатываемый образец может иметь размер до 101,6 мм. Для очистки можно выбирать плазму воздуха, кислорода, аргона, азота или смешанного газа; применение горючего газа не допускается. Скорость удаления органических загрязнений составляет около 20 нм/мин при высокой РЧ-мощности. РЧ-мощность регулируется на трёх уровнях: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 30 Вт; рабочая частота составляет 13,56 МГц. Панель управления обеспечивает настройку времени очистки, РЧ-мощности и вакуумного насоса. В комплект входит двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос с фильтром выхлопа и вакуумной трубкой. Входное питание — переменный ток 220 В, 50/60 Гц; для работы от 110 В может применяться трансформатор. Мощность вакуумного насоса составляет менее 500 Вт, суммарная мощность — менее 600 Вт. Габариты установки — 400 × 300 × 300 мм.
Задать вопрос Искать на Baidu
Какую задачу решает плазменный очиститель
Плазменный очиститель применяют для предварительной очистки монокристаллических подложек перед осаждением эпитаксиальных плёнок, а также для обработки подложек и пластин плазмой.
Характеристики ХМА-75(4У)
Модель (по базе 91Т)ХМА-75(4У)
Материалплазменный очиститель 3 л
ПриводРЧ-мощность: не более 30 Вт
Размер400 мм (длина) × 300 мм (ширина) × 300 мм (высота)
Типплазменный очиститель
Плазменный очиститель - гибкость поставки.
Каждый проект имеет свои особенности, и мы это учитываем. Именно поэтому по запросу мы уточним у производителя, возможна ли корректировка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ХМА-75(4У) под условия применения (руками первого изготовителя или собственного производства в России).
Каждый проект имеет свои особенности, и мы это учитываем. Именно поэтому по запросу мы уточним у производителя, возможна ли корректировка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ХМА-75(4У) под условия применения (руками первого изготовителя или собственного производства в России).
Дата последней сверки данных: 06.10.26
Производитель и характеристики проверены.
Люди, которые искали Плазменный очиститель, также смотрели:
+5 фотоШлифовальный станок по дереву для изготовления круглых прутков с регулируемым диаметром
Модель: ИШП-78(5Ж)
Шлифовальный станок по дереву предназначен для изготовления круглых прутков и стержней S- и C-образной формы. Диаметр регулируется, поэтому на оборудовании можно получать детали разных размеров. Мощность установленного двигателя составляет 3 кВт. Благодаря компактным габаритам станок имеет переносно
Винтовой воздушный компрессор с воздушным охлаждением, давлением нагнетания 0,8 МПа и двигателем мощностью 7,5 кВт
Модель: ЯМФ-79(5Т)
Винтовой воздушный компрессор выполнен в стационарной конфигурации, предназначен для сжатия воздуха и использует смазку. Питание осуществляется от сети переменного тока.
+4 фотоБезрельсовая аккумуляторная грузовая тележка с гибким поворотом для сборочного цеха
Модель: КПА-89(1Е)
Аккумуляторная грузовая тележка выполнена безрельсовой и предназначена для перевозки грузов в сборочном цехе. Конструкция предусматривает гибкий поворот. Тележка оснащена необслуживаемым бесшумным двигателем. Напряжение составляет 48 В, варианты мощности — 3, 4 и 9 кВт.
+5 фотоВертикальный обрабатывающий центр с прецизионной линейной направляющей
Модель: КРЭ-77(1А)
Шпиндель входит в конструкцию изделия. Точность позиционирования составляет 0,005. Повторяемость по трём осям равна 0,005 мм. Стол перемещается по первой, второй и третьей осям на 800, 500 и 500 мм соответственно.