Автоматическая ультразвуковая установка для нанесения покрытий

Автоматическая ультразвуковая установка объединяет ультразвуковую атомизацию и нанесение покрытий центрифугированием. Один вакуумный держатель рассчитан на круглые подложки диаметром до 300 мм или квадратные подложки со стороной до 203,2 мм. Жидкость подается прецизионным шприцевым насосом; доступен вариант насоса с нагревом и несколькими каналами. Ультразвуковая распылительная головка перемещается над подложкой, а система поддерживает до четырех ультразвуковых головок для равномерного нанесения. Электропитание составляет 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазное, при общей мощности 1800 Вт. Сенсорная панель управления регулирует мощность ультразвука, скорость распыления, частоту вращения от 300 до 3000 об/мин, температуру от комнатной до 50 °C и время распыления от 1 до 999 с. В комплект входят безмасляный вакуумный насос, управляемый установкой, ультразвуковой генератор мощностью 100 Вт с частотой до 50 кГц, два ультразвуковых распылительных сопла и два адаптера. Цилиндрическое сопло формирует узкое распыление диаметром около 20 мм, коническое сопло — более широкое распыление диаметром около 40 мм. Для водных растворов используются сжатый инертный газ или воздух под давлением около 0,1379 бар. Диапазон вязкости жидкости составляет 1–50 мПа·с, размер частиц суспензионной жидкости — 10–20 мкм при содержании твердых веществ не более 10%, расход жидкости — 0,6 пЛ–4 мл/мин. Поворотный рычаг для установки ультразвуковой распылительной головки работает со скоростью 1–20°/с. В комплект входит шприц объемом 50 мл; поддерживаются шприцы диаметром 0,4–30 мм. Скорость перекачивания регулируется в диапазоне 0,01–0,99 мм/мин, а для шприца объемом 50 мл составляет 0,08–35 мл/мин. Встроенный вытяжной шкаф оснащен вентиляционным патрубком диаметром 101,6 мм. Инфракрасный нагреватель внутри шкафа поддерживает температуру до 80 °C для сушки пленки после нанесения. Масса оборудования составляет 113,398 кг.

Наименование производителя

Automated Ultrasonic Spin-Spray Coater (0-3000 Rpm, 12" Wafer Max) W/ Heater & Fume Hood - VTC-300BUSS