Настольный монитор толщины плёнки

Измерительный модуль питается постоянным током 5 В с допуском ±10%, максимальный ток составляет 400 мА. Разрешение измерения частоты в стандартном исполнении равно ±0,03 Гц, в высокоточном — 0,002 Гц. Одна измерительная плата имеет два независимых измерительных и управляющих канала, а в одном мониторном блоке можно установить до четырёх плат, включая платы обоих исполнений. Разрешение измерения толщины алюминия составляет 0,0136 Å, диапазон измерения достигает 500 000 Å. Точность измерения толщины составляет ±0,5% и зависит от положения зонда, напряжения материала, температуры и плотности; для высокоточной платы при водяном охлаждении она ниже 0,2% и зависит от изменения температуры воды. Продолжительность измерения настраивается от 100 мс до 1 с, частота обновления составляет 10 измерений в секунду, время выборки регулируется от 0,1 до 10 с. Отображаемая точность толщины для стандартного и высокоточного исполнений равна соответственно 0,1 и 0,01 Å, а точность отображаемой скорости осаждения — 0,1 и 0,01 Å/с. В стандартном варианте используется кварцевый генератор, в высокоточном — термостатированный кварцевый генератор. После включения требуется прогрев более 15 минут для стабилизации измерений. Компьютерный последовательный интерфейс /485 и порт связи дисплейного блока поддерживают настраиваемую скорость 1200, 2400, 4800, 9600, 19 200 и 38 400 бод, 8 бит данных, 1 стоповый бит и отсутствие проверки чётности. Аналоговый выход имеет разрешение 8 бит и формируется с помощью ШИМ в режиме открытого коллектора или через внутренний выход 5 В. Рабочая температура составляет 0–50 °C, относительная влажность — 5–85% без конденсации. Размеры измерительного модуля — 90 × 50 × 18 мм. Дисплейный блок принимает переменный ток 220 В с допуском ±10% и формирует постоянный выход 5 В, 3 А; индикация выполнена в виде светодиодного индикатора 12 × 2 разряда и светодиодов, размеры блока — 182 × 65 × 160 мм. Зонд рассчитан на кристалл частотой 6 МГц и диаметром 14 мм. Трубка охлаждающей воды имеет диаметр 3 мм, длину 300, 500 или 1000 мм и рассчитана на давление менее 0,3 МПа. Диаметр пневматической трубки составляет 3 мм, давление сжатого воздуха должно быть менее 0,8 МПа и более 0,5 МПа. Температура нагрева при потоке воды составляет менее 200 °C, а без потока воды температура фланца — менее 100 °C. В комплект входят измерительный, дисплейный и зондовый блоки. ^*

*) Описание товара приведено в редакции, предоставленной иностранным производителем. Инженеры отдела 91Т уже запланировали техническую и эстетическую редактуру. В скором времени мы проверим технические нюансы, уточним характеристики и терминологию и доработаем текст, чтобы описание ДГЭ-24(4П) отвечало на большинство вопросов, а его назначение, возможности и область применения были понятны и доступны. Если вопрос актуален сейчас — просто задайте его нам.

Наименование производителя

Desktop Single Target Plasma Sputtering Coater MG-1100X-SPC-16 | Gold & Thin-Film Deposition for SEM Lab R&D, EQ-TM106 Film Thickness Monitor Crystal Oscillator Sensor for Lab Thermal Evaporation Coating Machine Lab Drying Equipment, Laboratory SI-TM508/SI-TM608 Quartz Crystal Thickness Monitor for Vacuum Evaporation Deposition System