Установка магнетронного плазменного напыления с двумя головками

Компактная установка размещается в перчаточном боксе с камерой очистки. Габариты бокса составляют 1200 × 740 × 900 мм; исполнение выполнено из нержавеющей стали. Откидная передняя дверца предназначена для загрузки устройств и образцов. Автоматическая продувка удаляет кислород и водяной пар перед рециркуляционной очисткой, а автоматическая регенерация встроена в панель управления. Система очистки поддерживает содержание кислорода и водяного пара менее одной части на миллион для каждого вещества. Предусмотрены две шлюзовые камеры для передачи крупных и малых образцов. Камера напыления утоплена в нижней части бокса и соединена с ним герметичным фланцем. На откидной крышке установлены магнетронные плазменные головки с водоохлаждаемыми кожухами и заслонками. Два источника питания объединены в один блок управления, установленный снаружи бокса: источник постоянного тока мощностью 500 Вт и радиочастотный источник мощностью 300 Вт с частотой 13,56 МГц. Требуемый диаметр мишени составляет 50,8 мм, диапазон толщины мишени с опорной пластиной — 0,1–5 мм. В комплект входят мишень из нержавеющей стали и мишень исследовательского класса для демонстрационных испытаний. Питание однофазное: 220 В переменного тока, 50/60 Гц; суммарная мощность составляет 2500 Вт с учётом вакуумного насоса и водяного охладителя. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет диаметр 300 мм и высоту 300 мм. Она оснащена двумя стеклянными смотровыми окнами диаметром 100 мм: одно закреплено, второе снимается для очистки и замены. Откидная крышка с пневматической стойкой облегчает смену мишени. Держатель образцов выполнен как вращающаяся нагреваемая платформа с керамическим нагревателем и медной крышкой. Его диаметр составляет 140 мм, максимальный размер пластины — 101,6 мм. Скорость вращения регулируется от 1 до 20 об/мин. Температура регулируется от комнатной до 500 °C, максимальная продолжительность составляет 2 ч, точность — ±1,0 °C с помощью цифрового контроллера температуры. Два прецизионных массовых расходомера обеспечивают подачу двух типов газа; расход каждого канала регулируется на сенсорной панели в диапазонах 0–200 и 0–100 мл/мин. Впускной клапан служит для сброса вакуума. Для работы требуется аргон чистоты 5N. В комплект входят двухступенчатый роторный вакуумный насос производительностью 240 л/мин с выхлопным фильтром и цифровой циркуляционный водяной охладитель. Диапазон охлаждения составляет 5–35 °C, расход — 16 л/мин, давление насоса — 0,965266 бар. Опциональный кварцевый монитор толщины плёнки устанавливается в камере и контролирует толщину с точностью 0,010 нм. Габариты установки при закрытой крышке составляют 121,9 × 71,1 × 81,3 см, при открытой крышке — 121,9 × 71,1 × 94,0 см. Масса нетто — 360 кг.

Наименование производителя

Dual-Head 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater in Glovebox - RF/DC Thin Film Deposition VTC-600-2HD-GB-LD