Высоковакуумная установка термического испарения с четырьмя источниками нагрева

Установка оснащена камерой из нержавеющей стали с электрополированной поверхностью, внутренним диаметром 300 мм и высотой 360 мм. Для наблюдения предусмотрено окно диаметром 100 мм, а шарнирная передняя дверца облегчает загрузку образцов. Для каждого испарительного источника предусмотрена моторизованная заслонка. Вакуумная система имеет подключение турбомолекулярного насоса с запорным клапаном, вакуумметра и шесть портов для кварцевого кристаллического микровеса или других устройств. Опциональный турбомолекулярный насос обеспечивает производительность 260 л/с. Уровень вакуума достигает 5,0 × 10^-6 торр после 40 минут откачки и кратковременного воздействия воздуха, а предельный вакуум составляет 5,0 × 10^-7 торр после прогрева при 100–150 °C. Скорость утечки равна 6,7 × 10^-8 Па·л/с. Вакуумный порт имеет размер DN 100 в стандартном исполнении или DN 160 в опциональном. Механический насос требуется как форвакуумный при давлении ниже 1 × 10^-2 торр. Испарительные лодочки изготовлены из вольфрама и оснащены водоохлаждаемыми кожухами; размеры каждой лодочки составляют 70 × 12 × 3 мм по длине, ширине и высоте. Вращающийся держатель образца имеет диаметр 120 мм, расстояние испарения составляет 140–200 мм. Опциональный нагреваемый столик образца рассчитан на температуру до 500 °C. Кварцевый кристаллический микровес поставляется опционально и обеспечивает измерение толщины с точностью 1,0 ангстрема. Встроенный блок управления объединяет контроль вакуума, толщины и мощности. Входное питание составляет 208–240 В переменного тока, 30 А, 50/60 Гц, однофазное, 5 кВА. Выходные параметры включают напряжение 0–8 В переменного тока, максимальный ток 200 А и максимальную мощность 1600 Вт. Для опционального водяного охлаждения предусмотрены давление 0,2–0,4 МПа и температура 15–25 °C. Габариты установки составляют 900 × 1100 × 1800 мм, масса нетто — 200 кг. Изделие имеет сертификацию CE.

Наименование производителя

Four Source High Vacuum Thermal Evaporation Coater for Lab Thin Film Deposition - GSL-1800X-ZF4