Настольная центрифужная установка для нанесения покрытий до 10 000 об/мин для подложек диаметром до 127 мм

Установка оснащена нагреваемой крышкой из ПТФЭ и антикоррозионной рабочей камерой из ПТФЭ диаметром 150 мм. Камера поддерживает сушку при температуре до 200 °C с достижением этого режима менее чем за 10 минут. Для удержания тонких объектов предусмотрен вакуумный прижим; в комплект входят вакуумные держатели из ПТФЭ диаметром 40 мм и 10 мм. Для распыления жидкости используются два ультразвуковых сопла из титанового сплава с контроллером мощности. Цилиндрическое сопло формирует узкий факел диаметром около 2 см, а коническое — более широкий факел диаметром около 4 см. Распыление выполняется под действием силы тяжести или сжатого воздуха низкого давления. Нагреваемый стеклянный шприц оснащён цифровым одноконтурным ПИД-регулятором с температурой до 120 °C и временем нагрева менее 10 минут; пластиковый шприц объёмом 20 мл входит в комплект. На верхней части крышки расположен газовый вход диаметром 6 мм для подачи газа в камеру во время нанесения покрытия. Крышка оснащена предохранительной блокировкой. Клавиатура и ЖК-дисплей позволяют программировать длительность вращения, скорость и ускорение, сохраняя до 12 программ по 6 сегментов. Длительность одного сегмента составляет до 60 секунд, ускорение регулируется от 100 до 2000 об/мин/с, точность управления — менее 5%. Все компоненты защищены от коррозии, что обеспечивает совместимость с чистыми помещениями. Дополнительно доступны нагреваемая крышка из полиэтилена с ПИД-регулятором до 120 °C и светодиодные ультрафиолетовые лампы с длиной волны 365 нм для отверждения и полимеризации.

Наименование производителя

Hi-Speed Spin Coater 10,000 RPM for 5" Wafers with PTFE Heating Cover & Ultrasonic Spray - VTC100PA-PTFEUS