Лабораторная печь для быстрого термического процесса

Лабораторная печь оснащена двумя зонами нагрева с раздельным управлением верхней и нижней группами галогенных нагревателей. Камера выполнена из кварцевой трубки высокой чистоты с наружным диаметром 279,4 мм, внутренним диаметром 274,32 мм и высотой 228,6 мм. Теплоизоляция изготовлена из углеродного войлока. Вакуумные фланцы выполнены из нержавеющей стали 316. Оборудование размещено на мобильной раме из алюминиевого сплава, в которую встроены температурные контроллеры и два газовых расходомера. Габариты установки составляют 850 × 745 × 1615 мм. Верхний фланец имеет один вакуумный порт и два газовых выхода, рассчитанных на трубу диаметром 6,35 мм, и перемещается вручную для загрузки и выгрузки подложки и испаренного материала. Нижний фланец оснащен одним вакуумным портом, двумя газовыми входами и игольчатыми клапанами. Фланцы уплотнены двойными силиконовыми уплотнительными кольцами. Максимальное разрежение составляет 10E-2 торр при использовании механического насоса и 10E-5 торр при использовании молекулярного насоса. В комплект входит прецизионный антикоррозионный цифровой вакуумметр. Для нагрева используются две коротковолновые инфракрасные лампы. Расстояние между нагревателями регулируется в диапазоне 10–50 мм. Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали и оснащены водяными охлаждающими рубашками. В верхний нагреватель встроен круглый держатель подложек диаметром 76,2 мм. В комплект входит высокотеплопроводная пластина диаметром 76,2 мм и толщиной 0,5 мм; дополнительно может использоваться графитовая пластина диаметром 76,2 мм. Два цифровых температурных контроллера имеют по 30 программируемых сегментов, обеспечивают независимое управление нагревателями и точность ±1 °C. Предусмотрены автоматическая настройка контроллеров, защита от перегрева, сигнализация при обрыве термопары, интерфейс связи с компьютером и программное обеспечение для управления и регистрации температурного профиля. Максимальная температура каждого нагревателя составляет 650 °C, а разность температур между ними не превышает 300 °C. Скорость нагрева при работе одного нагревателя составляет менее 8 °C/с, охлаждения в диапазоне от 600 до 100 °C — менее 10 °C/с. Два открытых датчика температуры типа K установлены отдельно на верхнем и нижнем нагревателях. Газовая система включает два поплавковых расходомера с диапазонами 16–160 мл/м и 400–4000 мл/м. Рабочее питание составляет 208–240 В переменного тока при однофазной схеме, номинальный ток воздушного автоматического выключателя — 20 А, суммарная потребляемая мощность — 2200 Вт.

Наименование производителя

Laboratory Two Zones CSS Furnace for Rapid Thermal Processing up to 3" Dia. and Max. 650°C. - OTF-1200X-RTP-II