Лабораторная ультразвуковая центрифуга для нанесения покрытий

Центрифуга для нанесения покрытий включает вакуумный держатель с регулируемыми фиксаторами для плоских подложек диаметром до 304,8 мм или квадратных подложек со стороной до 203,2 мм. Безмасляный насос вакуумного держателя входит в комплект и управляется блоком вращения. Скорость вращения регулируется в диапазоне 300–3000 об/мин. Предусмотрены отдельные режимы вращения и распыления, а также их совместная работа. Распылительный узел оснащён генератором и двумя форсунками с адаптерами и формирователем воздушного потока. Цилиндрическая форсунка формирует распыление диаметром около 20 мм, коническая — около 40 мм. Встроенный расходомер регулирует и контролирует поток воздуха. Рекомендуемое давление для водного раствора составляет около 0,138 бар. Вязкость рабочей жидкости может находиться в диапазоне 1–50 мПа·с. Поворотный рычаг для установки распылительной головки имеет регулируемые скорость и диапазон перемещения. Подогреваемый шприцевой насос с сенсорным ЖК-экраном подаёт жидкость к форсунке. В комплект входит шприц объёмом 20 мл; совместимый диаметр шприца составляет 0,4–30 мм. Скорость подачи регулируется в пределах 0,001–20 мм/мин. Встроенный гибкий полиимидный нагреватель с 30 сегментами оснащён программируемым регулятором температуры и обеспечивает нагрев до 75 °C. Для размещения требуется рабочая поверхность площадью более 2 м² и вентиляция. Допустимые условия эксплуатации: высота не более 1000 м, температура 25 ± 15 °C и относительная влажность 55 ± 10 %.

Наименование производителя

Laboratory High-Speed Ultrasonic Spin Coater VTC-300USS for 12" Wafer, 300-3000rpm, Ultrasonic Spin-Spray Coater (300-3000 Rpm, 12" Wafer Max) - VTC-300USS