Радиочастотный источник питания со встроенным согласующим устройством

Радиочастотный источник питания выполнен по полностью твердотельной схеме. Согласующий модуль использует цифровую сетевую платформу. Автоматический блок согласования быстро и точно согласует комплексное сопротивление плазмы с требуемым диапазоном настройки. Математический алгоритм настройки в сочетании с шаговым приводом обеспечивает быструю, точную и воспроизводимую реакцию, поддерживая согласование с точкой импеданса нагрузки. ЖК-дисплей предоставляет меню управления, доступное непосредственно с панели устройства. Диапазон выходной мощности составляет 5–300 Вт, стабильность мощности — ±0,1 %, максимальная отражённая мощность — 100 Вт, гармоническая составляющая — не более −50 дБ относительно несущей. Вход рассчитан на однофазный переменный ток при напряжении 187–253 В и частоте 50/60 Гц. Общий КПД составляет не менее 70 %, коэффициент мощности — не менее 90 %. Максимальная передаваемая мощность согласующего устройства — 500 Вт, отражённая мощность при максимальном выходе — менее 3 Вт. Максимальный действующий ток нагрузки — 30 А, максимальное действующее напряжение нагрузки — 7500 В. Радиочастотный выходной разъём рассчитан на 50 Ом. Время согласования составляет 13 с. Диапазон действительной части согласующего сопротивления — 0–80 Ом, мнимой части — от −200j до +200j. Предусмотрено принудительное воздушное охлаждение. Масса нетто — 19,5 кг, габариты (В × Ш × Г) — 133 × 440 × 410 мм.

Наименование производителя

RF Power Supply 5 - 300W / 500W / 1000W for Plasma and Magnetron Equipment