Трубчатая печь с плазменным источником
Модель: МТА-18(5В)
Система выполнена в виде трубчатой печи с раздвижной направляющей и разъёмной рабочей трубой. Доступны варианты кварцевой трубы с наружным диаметром 50, 80 или 130 мм; труба высокой чистоты устанавливается опционально. Рабочая температура достигает 1200 °C при нагреве продолжительностью менее 60 мин
