Установка для плазменного магнетронного напыления с тремя головками и встроенным перчаточным боксом

Питание установки составляет 208–240 В переменного тока при однофазном подключении и частоте 50/60 Гц; мощность — 1500 Вт. Система очистки высокой чистоты поддерживает содержание кислорода и воды менее 1 части на миллион. Предусмотрены автоматическая продувка для удаления воздуха перед рециркуляционной очисткой и автоматическая регенерация. Корпус рабочей зоны выполнен из нержавеющей стали, его размеры — 1200 × 740 × 900 мм. Откидная передняя дверца облегчает загрузку устройств и образцов, а два шлюзовых отсека предназначены для подачи больших и малых образцов. Два источника постоянного тока имеют мощность по 500 Вт, радиочастотный источник — 300 Вт при частоте 13,56 МГц. Распылительные головки оснащены водоохлаждаемыми кожухами и шторками. Диаметр мишени составляет 50,8 мм, толщина — 0,1–5 мм; мишени поставляются опционально. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет диаметр 300 мм и высоту 300 мм, стеклянное смотровое окно диаметром 100 мм и откидной верхний фланец для доступа к образцам. Поворотно-нагревательная платформа диаметром 140 мм нагревается до 500 °C и вращается со скоростью 1–20 об/мин; предусмотрен однопозиционный программируемый регулятор температуры. Газовая система оснащена двумя массовыми расходомерами с диапазоном 0–200 см³/мин, калиброванными по азоту, и вентиляционным портом диаметром 6,35 мм. Дополнительная вакуумная насосная станция рекомендуется для чувствительных к воздуху мишеней и получения базового давления менее 0,01 торр. Возможны турбомолекулярные насосы производительностью 63 или 260 л/с, а также форвакуумные насосы: пластинчато-роторный на 240 л/мин или сухой спиральный на 200 л/мин. Для охлаждения требуется охлаждённая вода; рекомендован цифровой рециркуляционный охладитель с регулированием температуры, диапазоном 5–35 °C, расходом 16 л/мин и давлением насоса 0,965 бар. Дополнительный кварцевый микровес обеспечивает измерение толщины плёнки в процессе нанесения с точностью до 1 ангстрема.

Наименование производителя

3 Heads Plasma Sputtering Coater in Glovebox with RF/DC Power Supplies - Thin Film Deposition System VTC-600-3HD-GB