Установка для плазменного магнетронного напыления с тремя головками и встроенным перчаточным боксом
Модель: ГЛЭ-87(5Х)
Питание установки составляет 208–240 В переменного тока при однофазном подключении и частоте 50/60 Гц; мощность — 1500 Вт. Система очистки высокой чистоты поддерживает содержание кислорода и воды менее 1 части на миллион. Предусмотрены автоматическая продувка для удаления воздуха перед рециркуляцион
