Высоковакуумная установка термического напыления

Установка термического напыления обеспечивает одновременное испарение материалов из двух типов источников. Входное питание составляет 220 В ±10%, переменный ток, трехфазное подключение, частота 50/60 Гц; суммарная мощность — 8 кВт, ток — около 32 А. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет полированную поверхность, внутренний диаметр 400 мм, глубину 400 мм и высоту 450 мм. В конструкции предусмотрено смотровое окно 100 мм, откидная дверь для загрузки образцов и моторизованная заслонка для каждой испарительной лодочки. Предусмотрен порт DN 100 для турбомолекулярного насоса и затворного клапана. Опционально доступен турбомолекулярный насос производительностью 260 л/с. Уровень вакуума достигает 5,0×10^-6 торр после 40 минут откачки, а предельный уровень составляет 5,0×10^-7 торр после прогрева при 100–150 °C. Скорость утечки — 5,0×10^-7 Па. Для работы при давлении ниже 1×10^-2 торр требуется механический форвакуумный насос. В комплект входят вольфрамовая нагревательная лодочка с водяным охлаждением без регулирования температуры для нагрева до 2000 °C и три тигля с резистивным нагревом спиралью для низкотемпературного напыления до 500 °C с точным регулированием температуры. Размер лодочки — 70 × 12 × 3 мм: длина, ширина и высота соответственно. Держатель образца рассчитан на образцы размером до 150 × 150 мм, обеспечивает вращение со скоростью 0–30 об/мин и расстояние испарения до 60 мм. Столик образца имеет функцию нагрева до 700 °C. Опциональный кварцевый микровес имеет точность 1,0 ангстрема. Встроенная система управления вакуумом, толщиной и мощностью объединена в одном блоке, отделенном от камеры для удобства перемещения. Установка может подключаться к одному перчаточному боксу или размещаться внутри двойного перчаточного бокса с раздвижной дверью. Для размещения требуется площадь 23,22576 м² и высота помещения более 1,8288 м. Для охлаждения электродов нужна охлажденная проточная вода с расходом более 16 л/мин либо рециркуляционный водоохладитель.

Наименование производителя

High Vacuum Thermal Evaporation Coater With Six Sources for Perovskite Solar Cells - GSL-1800X-ZF6-PSC