Контроллер толщины тонких плёнок
Модель: РФУ-51(5Л)
Контроллер толщины тонких плёнок выполнен по модульной схеме и оснащён измерительным модулем, подключаемым к измерителю толщины. Разрешение измерения частоты составляет 0,03 Гц при частоте измерения 6 МГц, стабильность частоты — ±0,1 Гц, скорость обновления — 10 раз в секунду, а время выборки — от 0