Контроллер толщины тонких плёнок

Контроллер толщины тонких плёнок выполнен по модульной схеме и оснащён измерительным модулем, подключаемым к измерителю толщины. Разрешение измерения частоты составляет 0,03 Гц при частоте измерения 6 МГц, стабильность частоты — ±0,1 Гц, скорость обновления — 10 раз в секунду, а время выборки — от 0,1 до 10 с. Для алюминия разрешение измерения толщины плёнки составляет 0,1 ангстрема, разрешение скорости осаждения — 0,1 ангстрема в секунду, точность измерения толщины — менее 0,5%. Точность обеспечивается при использовании водоохлаждаемого зонда и изменении температуры воды менее чем на ±1 °С. Зонд однокристальный, предусмотрена установка шторки. Сегментный предварительный нагрев равномерно нагревает материал перед осаждением и удаляет газы и примеси. При управлении скоростью устройство сравнивает текущую скорость осаждения с заданной и корректирует выходную мощность по замкнутому контуру; автоматическая настройка параметров регулятора поддерживает стабильность процесса. В режиме управления мощностью процент выходной мощности вводится напрямую, а выходное напряжение соответствует заданному проценту и регулирует ток испарения и нагрев материала. При достижении заданной конечной толщины устройство автоматически отключает питание и шторки. Подключёнными шторками образца, источника и зонда можно управлять автоматически или вручную. Поддерживаются электронные пушки, испарительные источники, магнетронные мишени для распыления и много дуговые источники. Доступно до 20 выбираемых и редактируемых программ осаждения, а автоматическое осаждение выполняется по предварительно заданной программе. Аналоговый выход имеет один канал, уровни 0–10 или 0–5 В, разрешение 10 мВ, стабильность ±20 мВ, линейность ±50 мВ и максимальный ток 5 мА. Цифровой выход выполнен на двух нормально разомкнутых релейных контактах с током нагрузки 5 А или 2,5 А; напряжение изоляции составляет 3000 В среднеквадратического значения. Графический интерфейс выводится на жидкокристаллический дисплей диагональю 88,9 мм, управление выполняется через 4-проводной резистивный сенсорный экран, предусмотрена интерактивная справка. Габаритные размеры составляют 365×160×160 мм, потребляемая мощность — менее 50 Вт. Температура хранения — от −20 до 50 °С, рабочая температура — от 5 до 35 °С, влажность — менее 80% без конденсации, высота эксплуатации — от 0 до 2000 м.

Наименование производителя

SI-TM118 Thin Film Thickness Controller - Precision Monitoring for PVD, Sputtering & Coating Applications